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2026/02/02
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光罩模板

Rantec                                
 
Mask種類 Cr Mask Emulsion Glass Film Mask
描畫精度 mode A mode B mode C mode D mode A mode B mode A mode B
Maximum size
(inch)		 10 x 10 12 x 12 28 x 32 28 x 32 28 x 32 28 x 32 28 x 32 28 x 32
最小 LS
(um)		 0.7 0.8 4 6 10 20 12 30
線幅精度
(um)		 ±0.1 ±0.2 ±0.5 ±1.0 ±1.0 ±2.0 ±2.0 ±4.0
線幅精度
(3σum)		 0.025 0.06 0.12 - - - - -
重疊精度
(3σum)		 0.03 0.2 0.4 - - - - -
基板材質 合成石英 合成石英
青板		 青板 青板 青板 青板 PET PET
對應可能的
表面處理		 Pellicle Pellicle Hard
coating		 Hard
coating		 Hard
coating		 Hard
coating		 Laminate Laminate
Hard 
coating		 Laminate Laminate